激光诱导击穿光谱(laser-induced breakdown spectroscopy,简称libs)是一种利用高能脉冲激光与材料相互作用产生的等离子发射光谱进行元素分析的新技术。它是伴随着激光器的发明而诞生的。在1960年theodore maiman发明了世界上第一台激光器,之后不久,brech和cross就在固体样品表面发现了激光诱导的等离子体。早期,激光主要作为一种交叉激发的火花光源。在1963年, debras guedon和liodec意识到可以不用火花,直接将激光诱导产生的等离子体用于光谱分析,紧接着第二年,marker、meyerand、haught等人第一次观测到在气体中的激光诱导光谱。但真正意义上利用激光诱导击穿光谱对样品所含元素进行定性定量分析的是runge等人在1964年所作的工作,他们利用脉冲q开关红宝石激光器诱导三个含量己知的含铬、镍的不锈钢样品,获得了它们的定标曲线,进而测得了不锈钢种铬和镍的含量,相对精度分别为5.3%和3.8%。这时,激光诱导击穿光谱的基本概念和架构已经被研究人员所掌握。但是在应用推广之前,还有很多技术问题需要不断的完善。